ようやっとインクジェット用のOHPシートを見つけました。 Staplesにありました。 20枚で13ポンド強と結構高いですが、仕方なし。

機材の都合で、出力6Wの蛍光灯、基板との距離は約16cmになりました。 キットの説明書には、27Wの蛍光灯で15cmの距離のときに露光時間30分ということなので、露光時間を長く取りました。およそ45分です。

現像時、やはり露光ムラがけっこうあったことが発覚しました。 中央部分はきれいに銅箔が露出しても、周辺部分に露光しきれてない部分があります。 一応蛍光灯を動かしながら露光したのですが、ちゃんと時間を計りながら一定時間ごとにムラなく光を当てるようにしたほうがいいようです。

後になってわかりましたが、現像後にかなり念入りにレジストの残りを検査するべきですね。 銅箔が露出していると思っていても、薄く残っている部分がけっこうあったようです。 そういう部分は、あとで網掛けのように銅が残ってしまいます。

そのため、エッチングがなかなか進まず苦労しました。 レジストがうっすらと残っているらしい部分の銅がなかなか溶けず、30分粘ったところで、パターンが痩せてきた部分があったので中止しました。

7～8割方はきれいに抜けたのですが、かなりきつく残っている部分もあり、仕方ないのでいったん仕上げを行ってから修正をかけることにしました。 本当はレジストが乗っている状態で修正をかけて、再度エッチングを行えばよかったことに後で気づいたのは内緒です。

なお今回、先日購入した赤外線温度計が大活躍でした。

現像液やエッチング液の液温を非接触で測れるので、大変便利です。 特に、液温を維持するために、液を入れた容器をお湯を張った大き目のタッパーに入れ、時々液温を測りつつ作業ができました。

当たり前ですが、「やってみなければ分からない」ことがいろいろ分かりました。

OHPシートはうちのプリンタ(HP)用のを買ってきて、高品質モードで印刷しました。 コントラストも高く、印刷面と基板を密着させてもレジストがはがれるということもありませんでした。 ちゃんと露光できれば、今回のピッチ(ライン幅10mil、間隔50mil)は十分に実用に耐えます。 慣れれば間隔25milでも十分いけそうです。

今回は成功したとは言えませんが、おおよその手順は理解できたので、次も頑張りたいと思います。

なお、穴あけも一応少しだけやってみました。 ドリルが重くかつスタンドがないので、基板のほうを水平に手で持って作業しました。 70milのパッドに1mm径のドリルで穴を開けてみましたが、特に問題は感じませんでした。 ポイントとしては、あらかじめ穴あけ(よくある6本セットに入っているやつ)でセンターに印をつけておくことくらいです。 50mil間隔の隣のラインに干渉もしません。